㈱東京放送の関係会社として東京都港区に㈱東京エレクトロン研究所を設立(資本金5百万円)。VTR、カーラジオ等の輸出及び電子機器関係の輸入業務を開始

Tokyo Electron America, Inc.(旧 TEL America, Inc.)設立

株式の額面金額を500円から50円に変更するため、東京エレクトロン㈱(旧 桜洋行㈱)に形式上合併される

東京証券取引所市場第二部上場

東京証券取引所市場第一部へ指定替え

テル・ジェンラッド㈱(1981年9月設立)の全株式を取得し、テル山梨㈱(1983年7月設立、旧 テル・ラム㈱)に吸収合併(新会社名 東京エレクトロン山梨㈱)

東京エレクトロン デバイス㈱(1986年3月設立、旧 テル管理サービス㈱)が電子部品販売を開始

東京エレクトロン相模㈱(1968年2月設立、旧 テル・サームコ㈱)と東京エレクトロン東北㈱(1986年7月設立、旧 テル東北エレクトロニクス㈱)を合併(新会社名 東京エレクトロン東北㈱)
東京エレクトロン佐賀㈱(1991年4月設立)と東京エレクトロン九州㈱(1987年1月設立、旧 テル九州㈱)を合併(現 東京エレクトロン九州㈱)

Tokyo Electron Korea Ltd.(旧 Tokyo Electron FE Korea Ltd.)設立

欧州(英国)現地法人Tokyo Electron Europe Ltd.設立

東京エレクトロン山梨㈱と東京エレクトロン宮城㈱(1997年4月設立)を合併(新会社名 東京エレクトロンＡＴ㈱)

中国現地法人Tokyo Electron (Shanghai) Logistic Center Ltd.(旧 Tokyo Electron (Shanghai) Ltd.)設立

東京エレクトロン デバイス㈱東京証券取引所上場

中国現地法人Tokyo Electron (Shanghai) Ltd.設立

東京エレクトロン リース㈱(1973年5月設立)と東京エレクトロン ロジスティクス㈱(1968年6月設立)を合併(現 東京エレクトロンＢＰ㈱)

東京エレクトロンＡＴ㈱と東京エレクトロン東北㈱を合併(新会社名 東京エレクトロンＡＴ㈱)

東京エレクトロンＡＴ㈱の商号を東京エレクトロン山梨㈱に変更

東京エレクトロン デバイス㈱株式の一部を売却し、当社の連結子会社から持分法適用関連会社へ異動

東京エレクトロン山梨㈱と東京エレクトロン東北㈱(2006年4月設立)を合併(現 東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ㈱)

東京証券取引所の市場区分の見直しにより、市場第一部からプライム市場に移行

Tokyo Electron LimitedJP:8035