1986年 3月	東京エレクトロン株式会社の子会社で、機器のリースを主要業務としていた株式会社テル・データ・システムが資本金5百万円をもって東京都新宿区に当社の前身であるテル管理サービス株式会社を設立。建物及び建物付属設備の保守管理業務を開始。
1990年 9月	社名を東京エレクトロンデバイス株式会社へ変更。同時に従来の業務を東京エレクトロングループ他社へ移管し、新たに外国製半導体を中心とする電子部品の販売を開始。
1990年10月	本社を東京都新宿区から神奈川県横浜市緑区（現都筑区）に移転。
1991年 1月	東京エレクトロン株式会社が株式会社テル・データ・システムから当社株式をすべて取得。
1992年 4月	大阪府大阪市淀川区に大阪営業所を開設。
1994年10月	愛知県名古屋市西区に名古屋営業所を開設。
1996年10月	東京エレクトロン株式会社から電子部品部門の富士通社製品販売事業を譲受け。
	長野県松本市に松本営業所を開設。
	福岡県福岡市博多区に福岡営業所を開設。
1997年10月	東京エレクトロン株式会社から電子部品部門のモトローラ社製品販売事業を譲受け。
	茨城県水戸市に水戸営業所を開設。
1998年 7月	東京エレクトロン株式会社から電子部品部門に関する事業を全て譲受け。
	東京エレクトロン株式会社から岩手県江刺市、東京都府中市及び山梨県韮崎市の設計開発センターを業務移管。
2000年 5月	東京都立川市に立川営業所を開設。
	東京都府中市の設計開発センターを本社に移転。
2001年 5月	岩手県江刺市の設計開発センターを仙台市青葉区に移転。
2001年10月	大阪営業所を大阪支社に組織変更。
2002年 5月	埼玉県さいたま市中央区に北関東支社を開設。
	宮城県仙台市青葉区に仙台営業所を開設。
2002年10月	山梨県韮崎市の設計開発センターを本社に統合。
2003年 3月	東京証券取引所市場第二部に上場。
2004年12月	愛知県名古屋市中村区に名古屋営業所を移転。
2005年 1月	香港に現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE HONG KONG LTD.（現 TOKYO ELECTRON DEVICE ASIA PACIFIC LTD.）を設立。
2006年 9月	静岡県三島市に三島営業所を開設。
	静岡県浜松市中区に浜松営業所を開設。
2006年10月	東京エレクトロン株式会社から吸収分割によりコンピュータ・ネットワーク事業を承継。
	東京都港区に赤坂オフィスを開設。
	東京都府中市に府中オフィスを開設。
	大阪府大阪市淀川区に大阪オフィスを開設。
2007年 2月	赤坂オフィスを閉鎖し、東京都新宿区に開設した新宿オフィスへ移転。
2007年 5月	宮城県仙台市青葉区の仙台営業所を宮城県仙台市宮城野区に移転。
2007年10月	京都府京都市下京区に京都営業所を開設。
2008年 1月	シンガポールに現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE SINGAPORE PTE. LTD.を設立。
2008年 2月	神奈川県横浜市都筑区にパネトロン株式会社を設立。

2008年 4月	東京営業所を閉鎖し、北関東支社に統合。
2008年 8月	本社及びパネトロン株式会社を神奈川県横浜市都筑区から神奈川区に移転。
	エンジニアリングセンターを神奈川県横浜市都筑区に開設。
2009年 1月	府中オフィスを閉鎖し、エンジニアリングセンターに統合。
2010年 4月	名古屋営業所を名古屋支社に組織変更。
	福岡営業所を福岡県福岡市博多区から福岡県福岡市中央区に移転。
2010年 6月	名古屋支社（現名古屋営業所）を愛知県名古屋市中村区から愛知県名古屋市西区に移転。
2010年11月	神奈川県横浜市都筑区に横浜港北物流センターを開設。
2010年12月	北関東支社（現大宮営業所）を埼玉県さいたま市中央区から埼玉県さいたま市大宮区に移転。
	東京証券取引所市場第一部銘柄に指定。
2011年 1月	茨城県つくば市につくば営業所を開設。
2011年 2月	大阪支社（現大阪オフィス）及び大阪オフィスを大阪府大阪市淀川区から大阪府大阪市中央区に移転。
2012年 4月	当社子会社であるパネトロン株式会社が株式会社アムスクからテキサス・インスツルメンツ社製品に係る販売代理店事業を譲受け。
2012年 8月	上海に現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE (SHANGHAI) LTD.を設立。
2013年 9月	サンノゼに現地法人inrevium AMERICA, INC.（現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.）を設立。
2014年 4月	当社株式売出しにより東京エレクトロン株式会社が当社の親会社からその他の関係会社に変更。
2014年 9月	東京都新宿区に新宿サポートセンターを開設。
2015年 8月	バンコクに現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE (THAILAND) LIMITEDを設立。
2016年 4月	サニーベールに現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE CN AMERICA, INC.（現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.）を設立。
2017年 1月	現地法人inrevium AMERICA, INC.（現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.）をサンノゼからフリーモントに移転。
2017年 4月	福島県いわき市にいわき営業所を開設。
2017年 7月	株式会社アバール長崎（現東京エレクトロンデバイス長崎株式会社）の株式取得により同社を連結子会社化。
2018年 7月	パネトロン株式会社を吸収合併。
	株式会社ファーストの株式取得により同社を連結子会社化。
2019年 5月	TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.がTOKYO ELECTRON DEVICE CN AMERICA, INC.を吸収合併。
2022年 4月	東京証券取引所の市場区分の見直しにより市場第一部からプライム市場へ移行。

TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITEDJP:2760